产品与解决方案

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氟化钇(YF₃)
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产品介绍

氟化钇(YF₃)

氟化钇是一种以钇和氣为主要成分的高性能涂层材料，主要应用于含氟气体浓度较高、等离子体腐蚀较强的工艺环境。由于氣化钇本身已经具有较稳定的含氟化学结构，在氟基等离子体环境中不容易进一步发生明显反应，因此能够降低涂层腐蚀速度，并减少由腐蚀带来的颗粒和杂质污染。
氟化钇通常用于对耐氟腐蚀和颗粒控制要求较高的真空腔体零部件，与氣氧化钇共同构成面向强腐蚀工艺环境的重要含氟钇系涂层材料。

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