产品与解决方案

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氟氧化钇(YOF)
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产品介绍

氟氧化钇(YOF)

氟氧化钇是一种同时含有氧和氟的钇系涂层材料，主要面向含氟等离子体等腐蚀性较强的工艺环境。由于材料本身含有氟元素，在含氟环境下能够保持较好的表面稳定性，可减少涂层与工艺气体持续发生反应，从而降低材料损耗、表面腐蚀及颗粒产生。与传统氧化物涂层相比，氟氧化钇更加适合高腐蚀、高洁净度要求的刻蚀环境，可用于提升关键腔体零部件的耐腐蚀能力和长期使用稳定性。

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