产品与解决方案

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YAG(Y₃AI₅O₁₂)
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产品介绍

YAG(Y₃AI₅O₁₂)

YAG 即钇铝石榴石，是一种由钇、铝和氧形成的复合氧化物陶瓷材料，通常以白色粉体形式作为陶瓷或涂层原料。相较于纯氧化铝、氧化钇等单一氧化物或氟化物，YAG 同时具备优异的耐等离子体腐蚀性能、耐高温特性与结构稳定性，适用于对抗腐蚀性及表面稳定性有严苛要求的真空腔体部件，是泛半导体等离子体刻蚀腔体内壁极具应用潜力的高性能防护材料。

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