产品与解决方案

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氧化铝(AL₂O₃)
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产品介绍

氧化铝(AL₂O₃)

氧化铝是泛半导体设备中应用较早、较为成熟的陶瓷涂层材料，具有较好的绝缘性、耐磨性和耐腐蚀性。将氧化铝材料形成涂层后，可以减少零部件基体与等离子体、工艺气体及反应残留物的直接接触，从而降低表面磨损和腐蚀。氧化铝涂层技术成熟、适用范围较广，常用于对耐磨、绝缘和基础防护有要求的真空腔体零部件，但在腐蚀性较强的含氟等离子体环境中，其耐腐蚀性能通常弱于氧化钇及含氟钇系材料。

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