产品与解决方案

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氧化钇(Y₂O₃)
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产品介绍

氧化钇(Y₂O₃)

氧化钇是一种耐等离子体腐蚀性能较好的高性能陶瓷涂层材料，主要用于对耐腐蚀和颗粒控制要求较高的真空腔体零部件。与氧化铝相比，氧化钇在含氟等离子体环境中的稳定性更好。可降低涂层受到持续腐蚀的程度，并减少因材料损耗产生的细小颗粒和杂质。氧化钇因此较多应用于内衬窗口、环类等直接接触等离子体的零部件，有助于延长零部件使用寿命，并提高腔体内部环境的稳定性和洁净度。

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