招贤纳士

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热喷涂涂层工艺研发


岗位职责:

主导大气等离子喷涂(APS)、物理气象沉积(pvd),原子层沉积(ALD)等工艺的开发和优化;

建立"喷涂参数—涂层微观结构—耐等离子体侵蚀性能"的定量关系,控制孔隙率、结合强度、表面粗糙度、相稳定性等关键指标;

开发面向刻蚀、薄膜沉积等不同腔体环境的涂层体系(Y₂O₃、YOF、YF₃及复合体系),针对客户制程定制解决方案;

主导涂层失效分析(等离子体侵蚀、热震开裂、颗粒剥落等),建立涂层寿命预测模型与加速老化评价方法;

与粉体研发团队协同,实现"粉体—涂层"一体化设计; 制定涂层工艺标准与检验规范,支撑客户端认证与批量交付。

 

任职要求:

材料、表面工程等相关专业,硕士及以上学历,5年以上热喷涂工艺研发经验;

精通等离子喷涂设备与工艺,熟悉送粉系统、等离子焰流诊断、喷涂机器人轨迹规划;

具备涂层微观结构表征与性能测试能力(SEM/EDS、金相、压痕结合强度、热导率等);

有半导体腔体耐等离子体涂层、航空航天热障涂层开发经验者优先;

熟悉晶圆厂对腔体部件的颗粒、金属污染管控要求(SEMI标准)者优先。

 

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