产品中心
型号
半导体 / 液晶面板 刻蚀工艺所有零部件(等离子涂层AMAT SYM3, PRODUCER, DPS2 / LAM KIYO HX,FX / TEL VIGUS , DRM, SCCM) ， 半导体 / 液晶面板 所有工艺的所有设备真空腔体进行精密表面处理。
应用方向
等离子涂层材料的改善及优化提高芯片制造良率及少损害。
产品特点
利用稀土(钇和氟)等离子涂层，真空腔体里面确保保持稳定性，耐热耐化学品，耐等离子,减少细尘。
产品用途
用于刻蚀设备真空腔体里整个环境的优化，真空腔体的构成品的寿命变长，防止被等离子腐蚀零部件。
